MIC-028-111-M86-产品方案

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MIC-028-111-M86

产品参数

材质：采用SEMI F20 UHP(超高纯)级别不锈钢漏率：漏率 ≤ 1×10 -10Pa.m3/sec.He 表面化学特性：产品电解抛光处理，Cr/Fe≥2.5,Cr-O/Fe -O≥3.5, 氧化层厚度≥20埃，粗糙度≤Ra0.1μm 清洗与包装：无尘室超洁净清洗包装技术标准：最高承受温度200°C，最大工作压力130MPa 质量保证：全材料和工艺过程可追溯

滚动

流道面技术标准

耐腐蚀性

优秀的耐腐蚀性能,表面Cr/Fe>2.5,Cr-O/Fe-0≥3.5;

清洁度

流道面超高纯精密清洁,表面清洁度满足Semi F19 5.6 UHP要求。

尺寸图

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